惯性传感器论文

梳状电容微加速度计的结构设计与分析

一、梳状电容微加速度计结构设计和分析（论文文献综述）王亚洲[1]（2021）在《纳米压电梁谐振式加速度计的设计与仿真》文中研究说明迄今为止,基于MEMS技术的微机械谐振式加速度...